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Queensgate推出采用电容性测微技术的高精度位置传感器

发布日期:2015-12-10 14:54:58 【关闭】
摘要:Queensgate推出采用电容性测微技术的高精度位置传感器

          Queensgate旗下的NX NanoSensor采用电容性测微技术,可以提供能够测量原子级别位置改变的灵敏度水平。这种先进的非接触式位置测量系统依赖于两个传感器板:一个用作目标,一个用作探头,而在它们之间则形成一个平行板电容器。通过采用适当的电子控制器,这两个板之间的距离可以准确地确定.NX NanoSensor的主要应用包括阶段反馈、振动测量、计量、变形测量、精密制造,漂移测量、精密波束控制和显微镜等。
NX NanoSensor能够以高于7皮米的精度来确定位置,线性度为0.02%,带宽为50Hz到10KHz.系统可以根据需要进行调整,以便改善位置精度,或者相反地提高对于动态运​​动的响应。板的形状有圆形、正方形或长方形可供选择,并提供22.5mm2、113mm2和282mm2的有效面积.NS2000控制器模块可与NX NanoSensor协同工作,能够测量平行板电容器电容的任何改变,并随后产生一个模拟电压,该电压正比于目标与探头传感器板之间位置的变化。

  非接触式测量和非自加热(non-self-heating)机制意味着NX NanoSensor产品对于所测量的结果不会产生任何影响,因而能够得到真实的纳米级测量。此外,这些产品采用非磁滞技术,这意味着位置可以重复. 这些产品的制造可以选用超因瓦合金、 Zerdur、铝、不锈钢和陶瓷等多种材料,可以允许其热性能满足特定应用对于稳定性的需求,以便防止出现位置漂移,这些特定的应用包括超高真空、抗辐射、非磁性和低温等领域。       20140107114250_5390QQ图片20151210145255

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